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【第2版】 2.LSI製造の前工程(マスク製作・拡散)

 LSI製造でシリコンのインゴットから拡散を中心としたウェハー加工までを前工程という。ここではフォトマスクからせつめいしている。
2.LSI製造の前工程
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    カレンダ

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