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第6章 1.システムLSIの製造工程

 LSIの設計する設計者も最低限知っておいてほしい一般的なLSIの製造工程を紹介します。最近の製造ラインはゴミ対策の強化もあり、製造設備や製造工程を見ることは難しくなっています。私が20代の時にはアライメント装置や拡散炉などいろいろな設備が身近に見れました。
1.システムLSIの製造工程
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